- Tytuł pełny:
- Untersuchungen zu den Wechselwirkungen zwischen Fotolackaggregaten und lithografischen Oberflächen in der Mikroelektronik / von Anita Förster ; Technische Universität Dresden. Fakultät Mathematik und Naturwissenschaften
- Autorzy:
- Förster, Anita (1979- )
Technische Universität (Drezno). Fakultät für Mathematik und Naturwissenschaften - Współtwórcy:
- Technische Universität (Drezno). Wydawca
- Wydawca:
- Dresden : Technische Universität
- Rok wydania:
- 2011
- Opis fizyczny:
- V, [1], 131, [10] s. : il. ; 30 cm
- Uwagi:
- Opis wg okł
Diss. Technischen Universität Dresden. Fakultät Mathematik und Naturwissenschaften, 2011
Bibliogr. s. 115-[132] - Temat:
- Mikroelektronika - rozprawy akademickie.
Kruszywa - badania - rozprawy akademickie.
Litografia - rozprawy akademickie. - Książka