- Tytuł pełny:
- Wytwarzanie cienkowarstwowych struktur Al-SiOx, Al-SiOx+Cr-Al i ocena ich własności elektrycznych / Benedykt Licznerski
- Wydawca:
- Wrocław : Wydawnictwo Politechniki Wrocławskiej
- Rok wydania:
- 1970
- Seria:
- Prace Naukowe Instytutu Technologii Elektronowej Politechniki Wrocławskiej. Monografie ; 1
- Temat:
- Mikroelektronika.
Warstwy cienkie (fizyka).
Książka