- Tytuł:
- Fringing field modelling in MEMS capacitive comb-drive accelerometers
- Autorzy:
-
Maj, Cezary
Nazdrowicz, Jacek
Stawiński, Adam - Data publikacji:
- 2021
- Wydawca:
- Politechnika Białostocka. Oficyna Wydawnicza Politechniki Białostockiej
- Tematy:
-
Accelerometers
MEMS devices
fringing field - Pokaż więcej
- Źródło:
-
Methods and tools in CAD – selected issues; 15-27
9788366391871 - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł