- Tytuł:
- Indium-gallium-zinc oxide thin-film preparation via single-step radio frequency sputter deposition using mixed-oxide powder targets
- Autorzy:
-
Satake, Takahiko
Kawasaki, Hiroharu
Aoqiu, Shin-Ichi - Data publikacji:
- 2023
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Czasopisma i Monografie PAN
- Tematy:
-
In–Ga–Zn–O thin-film
plasma processes
powder target
sputtering deposition
transparent conductive film - Pokaż więcej
- Źródło:
-
Archives of Electrical Engineering; 2023, 72, 2; 555--563
1427-4221
2300-2506 - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł